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  • 產品名稱:MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUTH-3W-3000塔瑪薩崎電子

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  • 產品廠商:MDCOM株式會社
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簡單介紹:
MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUTH-3W-3000塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗,表面改性CVD、涂布機、噴涂預處理 抗殘渣、有機物灰化
詳情介紹:


MDCOM 株式會社UV清洗裝置MEUTH-3W-3000塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗,表面改性CVD、涂布機、噴涂預處理 抗殘渣、有機物灰化

VUV清洗效果 清洗效果達到****的潔凈沉程度。PET薄膜從照射前的75.6度大幅降低到14.7度;原片玻璃從照射前的46.1度大幅降低到5度。一塵不染,潔凈如新。

  • 三大步驟

    除去有機物,增加表面的活性化、親水化;工件的粘著性和緊密性大幅度提高;UV清洗是不會破壞表面以及不會形成腐蝕孔的無損傷清洗方式。

    1

    切斷

    切斷有機物分子:172nm光子能量切斷有機物分子的結合(表面改質?硬化)

    CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’

    2

    吸收與分解

    被氧吸收和分解:172nm被氧吸收,生成活性氧和臭氧,臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)

    3

    結合

    氧化分解為親水基:被切斷了化學結合的原子和活性氧結合,氧化分解、揮發后,生成親水基 CO2, H2O, OH-



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參考規格

蘋果 XE(氙氣)準分子燈*1
波長 172納米 *1
安裝的燈具數量 1*2起的定制設計
有源發射長度 150毫米~2500毫米
光。。。。。。。。。。。。 標準 70毫瓦/平方英寸以上 *4
光。。。。。。。。。。。。 高照度 120毫瓦/平方英寸以上 *4
光。。。。。。。。。。。。 內管水冷高照度 170毫瓦/平方英寸以上 *4
照度均勻性 ± 10% 以內
陣容
梅特 標準照度(70mW/cm2),水冷系統(電源和燈座)
梅烏塔 標準照度 (70mW/cm2),風冷
默斯 高照度(120mW/cm2),水冷系統(電源和燈座)
默特 大面積體輻照裝置(帶石英窗)
梅斯-WC 內管水冷高照度(170mW/cm2)水冷系統(電源和燈座,內管電極)
*5
■ 注
*1 波長選項:222nm
*2 燈管數量、有效長度、照射設備尺寸:定制*3 支持以 10mm 燈管有效長度為增量進行定制
。 對于有效長度為1700mm或以上,兩個燈以交錯排列的方式排列
*2 點亮后立即測量大氣管表面(通過照度計C4/H9536-9535測量)*172 內管冷卻需要純水(每盞燈5L/min)






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