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產品詳情
簡單介紹：
AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S
●6英寸~120張/小時吞吐量
●采用SiC托盤的重金屬污染對策
氣相沉積設備
詳情介紹：
特點
這是一種連續常壓
CVD設備，可滿足小直徑晶圓大規模生產設備的需求，每小時可產生120片吞吐量。
該設備通過非常集中的
輸送系統實現大規模生產，同時降低成本，從而實現了廣泛的沉積區域。
SiC 托盤的采用使重金屬污染不難發生。 此外，由于熱量，工藝性能
穩定，老化較少。
標準配備托盤自動更換功能，可縮短操作員的**性和維護時間。
此外，通過采用自動提升頭底座的機制，可以輕松進行
清潔。
性能
| 薄膜厚度均勻性 | ≦±4.0% | |||||||||||||||||
| 支持的晶圓尺寸 | 到 6 英寸 | |||||||||||||||||
| 氣體種類 | SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 | |||||||||||||||||
| 沉積溫度 | 350～430℃ | |||||||||||||||||
| 生產力 | ~120張/小時 | |||||||||||||||||
主要規格
| 設備尺寸 | 1500mm(W) x 2850mm(D) x 2000mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機構 | 電阻加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 機器人CtoC輸送 | |||||||||||||||||
|
分散頭 （氣體噴嘴） |
A63 頭（標準 2 頭） | |||||||||||||||||
上海代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S
北京代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S
蘇州代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S
重慶代理AMAYA天谷制作所連續常壓 CVD設備A6300S
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