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產品詳情
簡單介紹：
■ 任何方向
■ 體積小巧
■ 節能
■ 快速啟動
■ 帶排氣閥快速關閉
■ 耐用的空氣突氣結構
■ 串口通訊
※RS232C串口
詳情介紹：
應用
■ 半導體生產
■ 電子槍排氣、電離源排氣
■ 平板顯示器制造
■ 表面處理、表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、檢測設備
■ 燈具生產、光學元件生產
■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研究與開發
*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用TG-M或TG系列。
| 入口法蘭 |
VG200 ISO-B200 CF200 |
|
| 體積流量 | N2（升/秒） | 1400 |
|
N2 （帶防護屏） （升/秒） |
1300 | |
| H2（升/秒） | 750 | |
|
*大壓縮 比 |
N2 | 1×108 |
| H2 | 4.3×103 | |
| 基礎壓力 |
（帕） （托爾） |
<1×10-6 <7.5×10-9 |
| *大吞吐量※1 | （SCCM） | 450 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 5.5-7 |
| 關機時間 | （分鐘） | 15-18 |
| *大背襯壓力 | （帕/托爾） | 330/2.5 |
|
推薦的后級 真空泵 |
（升/分鐘） | ≧250 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-B/CF（KG） | 29/30 |
| 控制器 | TC1103 | |
*1 ： 使用500L/min的前級真空泵時。
[使用環境溫度]
確保達到極限壓力的環境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環境溫度為10-32°C，水冷型允許環境溫度為10-40°C。確保極限壓力的冷卻水的*高溫度為30°C，冷卻水的允許溫度范圍為10-35°C。
聯系人：李先生 13402684488（微信同號）
羅茨真空泵、油封旋轉真空泵、液環真空泵、油擴散泵、噴射器、干式真空泵、真空系統、真空設備
常熟代理Osakavacuum大阪真空渦輪分子泵TG1400F
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