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產品詳情
簡單介紹：
AP250とAP500は半導體製造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に適した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から構成されています。 さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信號を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの內部圧力を調整し、外郭圧力が任意の設定圧力値と一致するように自動制御します。 また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です。 *大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、*大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です。 圧力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相當品または3／4"VCR相當品に対応しています。真空中での使用なら相當品導體用
詳情介紹：
型式 AP250 AP500
主な用途 FPD、燃料電池用 FPD、燃料電池用
対象ガス N2、空気、H2等 N2、空気、H2等
入口圧力 999kPa以下 999kPa以下
耐圧 1500kPa未満 1500kPa未満
圧力設定 表示設定器で設定 表示設定器で設定
制御方式 ドーム內空圧制御 ドーム內空圧制御
制御圧力 0～500kPa 0～500kPa
*大流量 500L/分 2000L/分
応答時間 設定値到達まで1秒 設定値到達まで1秒
入力信號 0～5VDC Cont/Close 0～5VDC Cont/Close
RS485 RS485
外部センサ入力 （4～20mA 標準） （4～20mA 標準）
出力信號 アラーム出力、RS485 アラーム出力、RS485
継手 1/2インチVCR相當品または1/2インチスウェジロック相當品 3/4インチVCR相當品または3/4インチスウェジロック相當品
シートリーク 10-5Pa?m3/秒以下 10-5Pa?m3/秒以下
精度 圧力センサ仕様による 圧力センサ仕様による
電源電圧 24VDC±10％ 24VDC±10％
消費電流 200mA Max． 200mA Max．
使用溫度 0～50℃結露なきこと 0～50℃結露なきこと
面間外形寸法 W70×D145×H124mm W80×D178×H170mm
圧力センサ 無し（外部） 無し（外部）
表示設定器 有り（分離設置可） 有り（分離設置可）
主な用途 FPD、燃料電池用 FPD、燃料電池用
対象ガス N2、空気、H2等 N2、空気、H2等
入口圧力 999kPa以下 999kPa以下
耐圧 1500kPa未満 1500kPa未満
圧力設定 表示設定器で設定 表示設定器で設定
制御方式 ドーム內空圧制御 ドーム內空圧制御
制御圧力 0～500kPa 0～500kPa
*大流量 500L/分 2000L/分
応答時間 設定値到達まで1秒 設定値到達まで1秒
入力信號 0～5VDC Cont/Close 0～5VDC Cont/Close
RS485 RS485
外部センサ入力 （4～20mA 標準） （4～20mA 標準）
出力信號 アラーム出力、RS485 アラーム出力、RS485
継手 1/2インチVCR相當品または1/2インチスウェジロック相當品 3/4インチVCR相當品または3/4インチスウェジロック相當品
シートリーク 10-5Pa?m3/秒以下 10-5Pa?m3/秒以下
精度 圧力センサ仕様による 圧力センサ仕様による
電源電圧 24VDC±10％ 24VDC±10％
消費電流 200mA Max． 200mA Max．
使用溫度 0～50℃結露なきこと 0～50℃結露なきこと
面間外形寸法 W70×D145×H124mm W80×D178×H170mm
圧力センサ 無し（外部） 無し（外部）
表示設定器 有り（分離設置可） 有り（分離設置可）
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