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產品詳情
簡單介紹：
UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300
?????塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司系 京都玉崎（日本）株式會社全資設立的中國子公司，自2014年成立以來，迅速崛起，專業從事國內貿易/國際貿易業務，主要經營光學設備、電子計測儀器、科學儀器、機械加工設備、環境試驗設備、PC周邊用品、作業工具用
詳情介紹：
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| ◆ 特 徴 |
| 1． | フラッシュメモリやその他の不揮発性メモリ、イメージセンサなどのチャージ除去やデータ消去に有効です。 |
| 2． | 半導體デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。 |
| 3． | チャージイレースに*適なUV波長を、効率よく照射します。 |
| 4． | 幅広い角度からUVを照射することで、効率よくチャージを除去します。 |
| 5． | 対象ウェーハサイズは、１２インチ（標準）、１１インチ（オプション）となります。 |
| 6． | 処理中のウェーハ溫度は100℃程度です。低溫で処理可能なため、ダメージを與えません。 |
| 7． | 裝置は、裝置本體、ランプ電源ユニット、制御ユニットから構成されています。 |
| ◆ 仕 様 |
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型式 | VUM-3500 | VUS-3300 | |
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処理ウエーハ サイズ |
12インチ | ○ | ○ |
| 8インチ | OP | OP | ||
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同時処理枚數 | 15枚 | 3枚 | |
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スループット ※1 | 約48WPH | 約24WPH | |
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カセット形態 | FOUP | FOUP | |
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ウェーハ搬送 | 自動搬送 | 自動搬送 | |
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ランプ燈數 | 20本 | 4本 | |
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初期照度 | 45mW/cm2 | 45mW/cm2 | |
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照度測定 | 自動測定 | 自動測定 | |
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裝置サイズ |
1140（W）× 2100（D）× 1850（H） |
1360（W）× 2210（D）× 2700（(H） |
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