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雖然設計緊湊，可 沉積到 ±8 英寸晶圓上，但樣品為 ±3 英寸晶圓，可同時沉積 5 個晶圓，4 英寸晶圓可同時形成 3 個薄膜，1 個 ±8 英寸晶圓可以沉積。
